ميزات المنتج
دعم إصدارات متعددة (PLC/PC) ومختلف بروتوكولات الاتصال السائدة؛
تم تنفيذ التصميم والإنتاج وفقًا لمعايير إنتاج السلامة SEMI؛
قدرة تصميم قناة عالية، UPH400 ~ 550pcs؛
مناسبة لأبعاد المنتجات والمجلات المتعددة؛
تصميم حاصل على براءة اختراع على مستوى رقاقة MFC، مما يمنع تسرب الغاز من التسبب في حوادث تتعلق بالسلامة (يدعم الغازات عالية الخطورة-مثل الهيدروجين)؛
تصميم حاصل على براءة اختراع لغرفة إغلاق عالية، تصل إلى 5 باسكال؛
زاوية ملامسة الماء<10° (related to the material of product surface);
تصميم أربع قنوات للمعالجة المتزامنة لأربعة منتجات، مع أقطاب سفلية مزدوجة، مما يقلل وقت دخول اللوحة وخروجها، ويحسن الكفاءة بشكل كبير، ويضمن توحيد المنتج في المعالجة.
المواصفات الفنية
|
التكوين الوظيفي |
المعلمات التقنية |
|
|
الطول × العرض × الارتفاع (مم) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
معدات |
الوزن الصافي (كجم) |
1000 |
|
الخلوص المحيطي (مم) |
600 في الخلف و600 في الجانبين |
|
|
غرفة |
الحجم (لتر) |
حوالي 9 |
|
القناة (رقم) |
4 |
|
|
القطب السفلي (قطعة.) |
2 (وظيفة الانتقال) |
|
|
وضع التغذية |
مجلة |
|
|
أبعاد المنتج التكيفية (مم) |
العرض: 40-100 الطول: 150-300 |
|
|
القطب |
البعد الكهربائي (مم) |
528×300 |
|
إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية |
الطاقة القياسية (كيلوواط) |
1 |
|
التردد (ميجاهيرتز) |
13.56 |
|
|
السيطرة على الغاز |
ما يصل إلى ثلاث قنوات |
قناتان (قياسي)، 3 قنوات (اختياري) |
|
نظام التحكم |
واجهة الإنسان-والآلة |
جهاز كمبيوتر + شاشة تعمل باللمس |
|
واجهة عن بعد |
تواصل |
خياري |
|
مضخة فراغ |
مضخة جافة اختيارية |
17CFM |
|
مضخة زيت اختيارية |
195CFM |
|
|
مضخة جافة اختيارية مع وظيفة التطهير |
نعم |
|
|
معدل تدفق تطهير النيتروجين (SLM) |
2 |
|
|
وقت التنظيف بالمكنسة الكهربائية (S) |
10月15日 |
|
|
وقت كسر الفراغ (S) |
3-4 |
|
|
مرافق المصنع |
مزود الطاقة |
ثلاث-طور 380 فولت 50/60 هرتز 4.5 كيلو وات (مضخة زيت) |
|
حجم ونوع العملية |
1/4 بوصة سواجيلوك |
|
|
نقاء الغاز المعالجة |
الدرجة الصناعية فما فوق |
|
|
ضغط غاز العملية (psig) |
10-20 |
|
|
البعد ونوع خط أنابيب الغاز التطهير |
1/4 بوصة سواجيلوك |
|
|
تطهير نقاء الغاز |
الدرجة الصناعية فما فوق |
|
|
ضغط تطهير الغاز (PSIG) |
15 |
|
|
البعد ونوع هوائي |
دفع 10 ملم-في التركيب |
|
|
نقاء الغاز الهوائي |
هواء مضغوط، خالي من الزيت-، نقطة تكاثف أقل من أو تساوي 7 درجات، جزيئات<5 |
|
|
ضغط الغاز الهوائي (psig) |
70-90 |
|
|
الهواء المضغوط (مم) |
∅8 |
|
|
امتثال |
شهادة |
نصف |
|
المعدات المساعدة |
مولد النيتروجين (اختياري) |
اختياري لتطهير النيتروجين |
|
مبرد الماء (اختياري) |
اختياري لتبريد الأقطاب الكهربائية |
|
|
مجموعة الهيدروجين (اختياري) |
اختياري لمعالجة الهيدروجين |
|
|
معالج غاز العادم (اختياري) |
اختياري لمعالجة عادم الفلور |
|
|
مواصلات |
الوزن الإجمالي (كجم) |
1050 |
|
عدد الحزم |
1 |
|
|
التعبئة والتغليف بما يتماشى مع معيار SPM15 |
نعم |
|
الوسم : نظام معالجة البلازما الفراغية الأوتوماتيكي VP-10S، نظام معالجة البلازما الفراغية الأوتوماتيكي VP-10S